详细介绍
产品用途
直流溅射电源采用先进的直流控制系统结合优异的弧光处理方案，适用于光伏、平板显示、半导体、工业和卷绕镀膜等镀膜工艺。
产品特点
● 采用全数字、高速、高频化设计，响应迅速、转换效率高
● 采用高速ARM为控制核心，结合优异的算法，实现对等离子变化的快速响应
● 实现电弧快速检测及响应，电弧响应时间<100ns
● 能量储存极低，<0.5mJ/kW
● 宽范围输出，50%~100%额定电压下均可输出额定功率
规格参数
| 输入 | |
| 输入电压 | 3AC 380V±10%;50/60Hz |
| 功率因数 | ≥0.95 |
| 转换效率 | 95% |
| 输出 | |
| 输出功率 | 10kW、20kW、30kW |
| 输出电压 | 800V/1000V |
| 输出电流 | 20A~75A |
| 点火电压 | 1000V/1200V可选 |
| 性能指标 | |
| 输出电流纹波 | 2%rms |
| 弧光响应时间 | <100ns |
| 输出功率重复性 | 0.1%（额定模式下） |
| 通讯方式 | 支持模拟量、RS-485通讯控制； 可选配Profibus、ProfiNet、EtherCAT |
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