详细介绍
产品用途
中频溅射电源凭借优异的波形调制技术，可实现输出直流、直流脉冲、双向方波、双向梯型波等波形。产品具有输出波形可调，输出频率可选，占空比可调，功率控制精准，以及低能量存储和快速的电弧反应。为镀膜工艺提供便利、精准的控制。适用于TOPCon工艺中的Poly-Si、AIOx、SiNx薄膜工艺。
产品特点
● 高速传感器采集VI，ARM快速处理，弧光响应时间<100ns
● 采用多相交错PFC技术，功率因数>0.95
● 多种电弧检测方式选择，灭弧识别可靠性高
● 全软开关技术，结合第三代半导体SiC作为功率器件，效率优异
● 输出模式多样，可实现连续、断续模式可选择，控制方式U、I、W可选择
规格参数
| 输入 | |
| 输入电压 | 3AC380V;50/60Hz |
| 功率因数 | ≥0.9 |
| 转换效率 | 94% |
| 输出 | |
| 输出功率 | 30kW、20kWx2、25kWx2、30kWx2 |
| 输出电压 | 600V、800V |
| 输出电流 | 50A-75A |
| 输出路数 | 2路 |
| 频率 | 40kHz、40kHz~200kHz |
| 性能指标 | |
| 调节精度 | ±0.5% |
| 弧光响应时间 | <100ns |
| 输出功率重复性 | 0.1%（额定模式下） |
| 通讯方式 | 支持模拟量、RS-485通讯控制；可选配Profibus、ProfiNet、EtherCAT |
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